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EPMA-1720 島津電子探針
電子探針（EPMA）是用極細(xì)的電子束對樣品表面進(jìn)行照射產(chǎn)生特征X 射線，對特征X 射線進(jìn)行分光和強(qiáng)度測定，得到微小區(qū)域的元素組成及樣品表面元素濃度分布的分析裝置。由于島津電子探針進(jìn)行的是無損高精度分析，并且能夠提供替他儀器不能提供的信息，因此在高校及實(shí)驗(yàn)室中大量使用，并從初的金屬?半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，逐步擴(kuò)展到微粒?礦物?催化劑?生物組織的分析。鑒于電子探針分析能力的優(yōu)越性，市場對高端機(jī)型的需求也逐年增長。
特點(diǎn)：
??空間分辨率
電子探針可達(dá)到的高級別的二次電子圖像分辨率3nm（加速電壓30kV），分析條件下1的二次電子分辨率。
（加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）
? 大束流超高靈敏度分析
實(shí)現(xiàn)3.0μA（加速電壓30kV）的大束流?？沙哽`敏度進(jìn)行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無需更換物鏡光闌。
??高性能X射線譜儀
秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢的52.5°X射線取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率。可同時搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝一籌。
? 全部分析操作簡單易懂
全部操作僅靠一個鼠標(biāo)就可進(jìn)行的先進(jìn)可操作性。追求易懂的人性化用戶界面。搭載導(dǎo)航模式，自動指引直至生成報告。
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